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齿射线荧光就是被分析样品在齿射线照射下发出的齿射线，它包含了被分析样品化学组成的信息，通过对齿射线荧光的分析确定被测样品中各组分含量的仪器就是齿射线荧光分析仪。由原子物理学的知识，对每一种化学元素的原子来说，都有其特定的能级结构，其核外电子都以其*的能量在各自的固定轨道上运行。内层电子在足够能量的齿射线照射下脱离原子的束缚，成为自由电子，这时原子被激发了，处于激发态。此时，其他的外层电子便会填补这一空位，即所谓的跃迁，同时以发出齿射线的形式放出能量